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工業材料 Industrial Precious Metal Materials
スパッタリング材料(貴金属ターゲット)
スパッタリングに使用する円型・角型のターゲットを作製しております。
ボンディング加工、合金ターゲットの開発、各種形状でのご提供等、様々なご要望を承ります。
サイズについては、別途ご相談承ります。


貴金属ターゲット



円型ターゲット
仕様例:
左 /Au φ320×7(o)
右 /Ag φ101.6×5(o)、ボンディング加工
 

角型ターゲット
仕様例:
左/ Ag 900×300×25(o)
右/ Au 260×150×6(o)

仕様
 サイズ 円 型 任意 [ 最大 φ350×7(mm)]
 
角 型 Au 任意 [ 最大500×150×7(mm)]
 
Ag 任意 [ 最大1500×300×35(mm)]  
 品 位 Au:4N, 5N Ag:4N
その他各種合金
 

本製品の特徴
・ ピンホール、バリ、欠け等欠陥の無い高品質なターゲット
・ 治具取付用の溝加工・穴加工等、各種形状への機械加工が可能
・ ボンディング加工は、超音波探傷により高精度な接合を保証
・ 使用済みターゲットの回収と再加工も対応可能

ページ中の品位表記は、4N:99.99%5N:99.999%3N5:99.95% を意味いたします。
記載している仕様数値は社内実績値です。この他の仕様についてもご相談承ります。